Implementación de un sistema de supervisión y control de una unidad de acople de impedancias entre una fuente Rf y un plasma de descarga para un proceso de sputtering Rf

Fuentes Gamboa, Camilo Andres; Serrato Pinzón, Dilan Gabriel

Implementación de un sistema de supervisión y control de una unidad de acople de impedancias entre una fuente Rf y un plasma de descarga para un proceso de sputtering Rf

dc.contributor.advisor	Puerto Leguizamón, Gustavo Adolfo	spa
dc.contributor.advisor	Jiménez Borrego, Luis Camilo	spa
dc.contributor.author	Fuentes Gamboa, Camilo Andres	spa
dc.contributor.author	Serrato Pinzón, Dilan Gabriel	spa
dc.date.accessioned	2018-01-25T20:10:52Z
dc.date.available	2018-01-25T20:10:52Z
dc.date.created	2017-11-21	spa
dc.description	Descripción del proceso de implementación de un sistema de supervisión y control de una unidad de acople entre una fuente RF y un plasma de descarga para un proceso de pulverización catódica, sputtering RF.	spa
dc.description.abstract	Description of the implementation process of a supervision and control system of the coupling unity between a RF source and a discharge plasma for a sputtering RF process, using Labview.	spa
dc.description.sponsorship	Pontificia Universidad Javeriana	spa
dc.format.mimetype	pdf	spa
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11349/7375
dc.language.iso	spa	spa
dc.rights	Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 Internacional	*
dc.rights.acceso	Abierto (Texto Completo)	spa
dc.rights.accessrights	info:eu-repo/semantics/openAccess	spa
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/	*
dc.subject	Pulverización catódica	spa
dc.subject	Plasma	spa
dc.subject	Radio frecuencia	spa
dc.subject	Acople electromagnético	spa
dc.subject.keyword	Sputtering	spa
dc.subject.keyword	Plasma	spa
dc.subject.keyword	Radio frequency	spa
dc.subject.keyword	Electromagnetic coupling	spa
dc.subject.lemb	Ingeniería electrónica - Tesis y disertaciones académicas	spa
dc.subject.lemb	Pulverización catódica (Metalización)	spa
dc.subject.lemb	Impedancia (Electricidad)	spa
dc.subject.lemb	Distribución de energía eléctrica	spa
dc.title	Implementación de un sistema de supervisión y control de una unidad de acople de impedancias entre una fuente Rf y un plasma de descarga para un proceso de sputtering Rf	spa
dc.title.titleenglish	Implementation of a supervision and control system for an impedance coupling unit between a Rf source and a discharge plasma for a Rf sputtering process	spa
dc.type.coar	http://purl.org/coar/resource_type/c_7a1f	spa
dc.type.degree	Creación o Interpretación	spa
dc.type.driver	info:eu-repo/semantics/bachelorThesis	spa

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