Desarrollo de una herramienta computacional en línea para el análisis y la optimización de datos de elipsometría espectroscópica

Leguizamon Suárez, Paula Alejandra

Desarrollo de una herramienta computacional en línea para el análisis y la optimización de datos de elipsometría espectroscópica

dc.contributor.advisor	Herreño Fierro, César Aurelio
dc.contributor.author	Leguizamon Suárez, Paula Alejandra
dc.contributor.orcid	Herreño Fierro, César Aurelio [0000-0003-2394-4322]
dc.creator.email	leguizamonsuarezp@gmail.com
dc.creator.id	20202135006
dc.date.accessioned	2026-05-27T14:52:55Z
dc.date.available	2026-05-27T14:52:55Z
dc.date.created	2026-04-13
dc.description	La elipsometría espectroscópica es una técnica óptica no destructiva ampliamente utilizada para la caracterización de películas delgadas y sistemas multicapa. Entre sus principales ventajas se encuentran su carácter no destructivo, la rapidez de las mediciones y la alta precisión en la determinación de parámetros ópticos. Un elipsómetro espectroscópico mide el cambio en el estado de polarización de la luz reflejada por la superficie de la muestra, obteniendo los ángulos elipsométricos en función de la longitud de onda. Sin embargo, la extracción de parámetros físicos a partir de estos ángulos no es sencilla: requiere la construcción de un modelo óptico, el cálculo de espectros teóricos mediante el método de la matriz de transferencia (TMM) y la minimización iterativa de una función de mérito que cuantifica la discrepancia entre el modelo y los datos experimentales
dc.description.abstract	Spectroscopic ellipsometry is a widely used non-destructive optical technique for characterizing thin films and multilayer systems. Its main advantages include its non-destructive nature, rapid measurements, and high accuracy in determining optical parameters. A spectroscopic ellipsometer measures the change in the polarization state of light reflected from the sample surface, obtaining ellipsometric angles as a function of wavelength. However, extracting parameters from these angles is not straightforward: it requires constructing an optical model, calculating theoretical spectra using the transfer matrix method (TMM), and iteratively minimizing a function of merit that quantifies the discrepancy between the physical model and the experimental data
dc.format.mimetype	pdf
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11349/101510
dc.language.iso	eng
dc.publisher	Universidad Distrital Francisco Jose de Caldas
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dc.rights.acceso	Abierto (Texto Completo)
dc.rights.accessrights	OpenAccess
dc.subject	Elipsometría espectroscópica
dc.subject	Películas delgadas
dc.subject	Herramienta computacional
dc.subject	Optimización de datos
dc.subject.keyword	Spectroscopic ellipsometry
dc.subject.keyword	Thin films
dc.subject.keyword	Computational tool
dc.subject.keyword	Dielectric function
dc.subject.lemb	Licenciatura en Física -- Tesis y disertaciones académicas
dc.subject.lemb	Óptica física
dc.subject.lemb	Ciencia de materiales
dc.subject.lemb	Ingeniería de software
dc.subject.lemb	Análisis numérico
dc.title	Desarrollo de una herramienta computacional en línea para el análisis y la optimización de datos de elipsometría espectroscópica
dc.title.titleenglish	Development of an online computational tool for the analysis and optimization of spectroscopic ellipsometry data
dc.type	bachelorThesis
dc.type.coar	http://purl.org/coar/resource_type/c_7a1f
dc.type.degree	Investigación-Innovación
dc.type.driver	info:eu-repo/semantics/bachelorThesis

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