Desarrollo de una herramienta computacional en línea para el análisis y la optimización de datos de elipsometría espectroscópica
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2026-04-13
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Universidad Distrital Francisco Jose de Caldas
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Leguizamon Suárez, Paula Alejandra (2026). Desarrollo de una herramienta computacional en línea para el análisis y la optimización de datos de elipsometría espectroscópica. Universidad Distrital Francisco Jose de Caldas. https://hdl.handle.net/11349/101510
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Resumen
Spectroscopic ellipsometry is a widely used non-destructive optical technique for characterizing thin films and multilayer systems. Its main advantages include its non-destructive nature, rapid measurements, and high accuracy in determining optical parameters. A spectroscopic ellipsometer measures the change in the polarization state of light reflected from the sample surface, obtaining ellipsometric angles as a function of wavelength. However, extracting parameters from these angles is not straightforward: it requires constructing an optical model, calculating theoretical spectra using the transfer matrix method (TMM), and iteratively minimizing a function of merit that quantifies the discrepancy between the physical model and the experimental data
Descripción
La elipsometría espectroscópica es una técnica óptica no destructiva ampliamente utilizada para la caracterización de películas delgadas y sistemas multicapa. Entre sus principales ventajas se encuentran su carácter no destructivo, la rapidez de las mediciones y la alta precisión en la determinación de parámetros ópticos. Un elipsómetro espectroscópico mide el cambio en el estado de polarización de la luz reflejada por la superficie de la muestra, obteniendo los ángulos elipsométricos en función de la longitud de onda. Sin embargo, la extracción de parámetros físicos a partir de estos ángulos no es sencilla: requiere la construcción de un modelo óptico, el cálculo de espectros teóricos mediante el método de la matriz de transferencia (TMM) y la minimización iterativa de una función de mérito que cuantifica la discrepancia entre el modelo y los datos experimentales