Análisis de los principios de funcionamiento de las micropalancas en el desarrollo de sistemas microelectromecánicos

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Resumen

The micromechanical systems have to do with devices and the technology that includes actuators and electronic elements on micrometric scale. As basic elements for the development of these systems, here are the microcantilevers, the mechanical and dynamic characteristics of which allow to make sensors, actuators, etc. However, these investigations are carried out mostly in the first world countries. It is therefore important to begin a focus on this subject, to know its principles of operation and its applications in the world of electronics, which will allow to establish the necessary knowledge for future developments.The aim of this paper is to identify and analyze the principles of microcantilever operation in the development of microelectromechanical systems and to determine the electronic applications that are currently performed with them. For this, a wide bibliographical review was carried out, between academic articles and books related to subjects of physics, microelectromechanical systems and nanotechnology. Once the theoretical bases were established, the simulation of a microcantilever and its application as mass sensor were performed in finite element analysis software ,in order to compare the results obtained with the theoretical results. The modes of operation of the microcantilevrs, the detection and actuation methods were defined, and the main areas of development and applications were identified, including sensors, biosensors, energy pickup systems and reconfigurable filters.

Descripción

Los sistemas microelectromecánicos hacen referencia a los dispositivos y a la tecnología que integra actuadores y elementos electrónicos a escala micrométrica. Como elemento base del desarrollo de estos sistemas están las micropalancas (microcantilevers), las cuales son objeto de estudio por parte de los investigadores porque con ellas es posible crear una gran variedad de aplicaciones (sensores, actuadores). Sin embargo, estas investigaciones se realizan en su gran mayoría en países del primer mundo trayéndoles beneficios. Por ello es importante empezar a abordar esta temática, conocer sus principios de funcionamiento y sus aplicaciones en el mundo de la electrónica, lo que permitirá establecer el conocimiento necesario para futuros desarrollos. Con este trabajo se pretende identificar y analizar los principios de funcionamiento de las micropalancas en el desarrollo de sistemas microelectromecánicos y determinar las aplicaciones electrónicas que con ellas se realizan en la actualidad. Para ello se realizó una amplia revisión bibliográfica, entre artículos académicos y libros concernientes a temas de física, sistemas microelectromecánicos y nanotecnología. Una vez establecidas las bases teóricas, se realizó la simulación de una micropalanca y su aplicación como sensor de masa en un software de análisis por elementos finitos, para luego comparar los resultados obtenidos con los resultados teóricos. Se identificaron dos modos de operación de las micropalancas, se definieron los métodos de detección y actuación, y se identificaron las principales áreas de desarrollo y aplicaciones entre los que están sensores, biosensores, sistemas captadores de energía y filtros reconfigurables.

Palabras clave

MEMS, Micropalanca, Actuadores, Sensores

Materias

Ingeniería electrónica - Tesis y disertaciones académicas , Dispositivos electromecánicos , Transducción , Biosensores

Citación