INFLUENCIA DE PROCESOS TECNOLÓGICOS DE MICROELECTRÓNICA EN TENSIONES ELÁSTICAS Y EN DEFECTOS DE LA RED CRISTALINA
| dc.contributor.author | Gachevski, Valery | spa |
| dc.date | 2004-12-01 | |
| dc.date.accessioned | 2019-09-19T21:51:15Z | |
| dc.date.available | 2019-09-19T21:51:15Z | |
| dc.description | Las investigaciones de la influencia de las operaciones de los procesos tecnológicos de fabricación de semiconductores en las tensiones elásticas de material y en los defectos puntuales y lineales son muy importantes para el desarrollo de electrónica. En el presente artículo se realiza el resumen de los resultados científicos publicados en las revistas internacionales sobre las tensiones elásticas y sobre comportamiento de los defectos de la red cristalina durante procedimiento tecnológico de fabricación de las estructuras semiconductoras. | es-ES |
| dc.format | application/pdf | |
| dc.identifier | https://revistas.udistrital.edu.co/index.php/vinculos/article/view/4065 | |
| dc.identifier | 10.14483/2322939X.4065 | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11349/21301 | |
| dc.language | spa | |
| dc.publisher | Universidad Distrital Francisco José de Caldas | es-ES |
| dc.relation | https://revistas.udistrital.edu.co/index.php/vinculos/article/view/4065/5732 | |
| dc.source | Revista Vínculos; v. 1 n. 1 (2004); 45-54 | pt-BR |
| dc.source | Revista vínculos; Vol. 1 Núm. 1 (2004); 45-54 | es-ES |
| dc.source | Revista Vínculos; Vol 1 No 1 (2004); 45-54 | en-US |
| dc.source | 2322-939X | |
| dc.source | 1794-211X | |
| dc.subject | Tensiones Elásticas | es-ES |
| dc.subject | Deformación | es-ES |
| dc.subject | Defectos | es-ES |
| dc.subject | Dislocaciones. | es-ES |
| dc.title | INFLUENCIA DE PROCESOS TECNOLÓGICOS DE MICROELECTRÓNICA EN TENSIONES ELÁSTICAS Y EN DEFECTOS DE LA RED CRISTALINA | es-ES |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | |
| dc.type.coar | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |