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Título : Implementación de un Sistema de Supervisión y Control de una Unidad de Acople de Impedancias entre una Fuente Rf y un Plasma de Descarga para un Proceso de Sputtering Rf
Autor: Fuentes Gamboa, Camilo Andres
Serrato Pinzón, Dilan Gabriel
Director de Tesis: Puerto Leguizamón, Gustavo Adolfo
Jiménez Borrego, Luis Camilo
Materias: INGENIERÍA ELECTRÓNICA - TESIS Y DISERTACIONES ACADÉMICAS
PULVERIZACIÓN CATÓDICA (METALIZACIÓN)
IMPEDANCIA (ELECTRICIDAD)
DISTRIBUCIÓN DE ENERGÍA ELÉCTRICA
Palabras clave : Pulverización Catódica
Plasma
Radio Frecuencia
Acople Electromagnético
Fecha: 21-nov-2017
Abstract : Description of the implementation process of a supervision and control system of the coupling unity between a RF source and a discharge plasma for a sputtering RF process, using Labview.
Resumen : Descripción del proceso de implementación de un sistema de supervisión y control de una unidad de acople entre una fuente RF y un plasma de descarga para un proceso de pulverización catódica, sputtering RF.
URI : http://hdl.handle.net/11349/7375
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